一、概括

SiC 球体是由采用高纯度碳化硅（SiC）陶瓷材料经精密加工制成的球形部件，具备极端环境下的高强度、耐磨损、耐腐蚀及高热稳定性，广泛应用于高精度机械、化工、能源及半导体领域的关键运动或承载部件。

二、 性能特点

1.优秀的机械性能：

•  超高硬度和耐磨性：莫氏硬度≥9.5，仅次于金刚石，显著优于金属及氧化物陶瓷（如氧化锆、氧化铝），极端摩擦工况下磨损率极低。

•  抗压强度高：可承受>2.5 GPa的压应力，在高速高压环境中不易变形或碎裂。

2.极端环境稳定性：

•  耐高温性：在惰性气氛中耐受>1600°C，氧化气氛中稳定至1400°C，性能远超金属轴承材料。

•  化学惰性：耐强酸（氢氟酸除外）、强碱、熔融金属及高腐蚀性介质，寿命为不锈钢球的10倍以上。

•  优异的面内温度均匀性：高效传递热量，结合背侧氦气冷却等设计，确保晶圆表面温度均匀性满足先进制程要求。

3.功能性表面特性：

•  超精密圆度与光洁度：球体圆度可达±0.1μm，表面粗糙度Ra≤0.01μm，保障低振动、高精度运行。

4.电学与特殊性能：

•  半导体特性：可定制导电/绝缘型，满足静电敏感场景需求。

•  抗辐照性：耐高能粒子辐照，适用于核工业及太空设备。

三、 应用领域

    1.高端工业装备领域：SiC球体在高速主轴轴承、涡轮分子泵轴承及精密仪器导轨中替代金属球，凭借超高硬度（莫氏硬度≥9.5）和耐高温性（>1600°C），将部件寿命提升3-5倍，实现高温/真空环境免维护运行；同时作为高 硬度材料（如碳化钨、蓝宝石）的研磨介质，其磨损率仅为氧化锆球的1/5，显著提升加工效率与精度。

   2.半导体与精密制造领域：应用于真空机械臂关节球、PVD/CVD设备传动球及晶圆传输导轨球，依托化学惰性与抗等离子体侵蚀特性，保障超高洁净度环境下的低颗粒释放（表面粗糙度Ra≤0.01μm），解决半导体制造中薄膜污染与传动精度失效问题；在耐腐蚀泵阀球芯、燃料电池密封球等场景中，抵抗强酸/碱/高温介质腐蚀，彻底消除化工与能源装备的密封失效风险。