在在半导体制造这一高精尖领域，特种气体（特气）堪称 “芯片制造的血液”，从芯片的刻蚀、沉积到掺杂等关键工艺，都离不开它们的参与。而承载这些特气的气瓶柜，作为特气存储与供应的关键设备，其重要性不言而喻。一旦气瓶柜发生泄漏，后果将不堪设想。

可能有人会说：“不就是一点气体泄露吗？通风散散就没事了。” 但 fab 特种气体可不是普通空气，它们大多是高纯度、强腐蚀性、剧毒或易燃易爆的 “狠角色”。比如常用的硅烷，遇空气就会自燃，泄露后哪怕只是一点火星，瞬间就能引发爆炸，玻璃仪器碎片飞溅、柜体灼烧变形，实验室里的一切都会被烈焰吞噬；还有氯气、氨气这类剧毒气体，哪怕浓度只有几十 ppm，短短几秒就能让人喉咙灼烧、呼吸困难，要是通风不畅，几分钟内就会出现昏迷、肺水肿，甚至直接危及生命。

案例 1 氯系气体逆流导致钢瓶柜腐蚀事故

事故概要：

除害装置的药剂超过使用限额的状态下，从CVD装置流出了二氯硅烷（SiH₂Cl₂），因此未处理的二氯硅烷流入可燃性排气管道。因可燃性排气管道破损，二氯硅烷逆流至一氧化碳（CO）钢瓶柜，造成腐蚀，进而从一氧化碳钢瓶柜（回气用：镀层）泄漏到外部，导致安装在镀层上方的氯气钢瓶柜也受到腐蚀。通过二氧化硅（SiO₂）粉末附着及氯系气体检测，判定为二氯硅烷逆流。

事故原因：

① 超限检测器处于停止状态；

② 排气管道结构问题；

③ 排气管道破损发现较晚；

④ 钢瓶柜日常检查不足；

⑤ 除害装置检查不足；

⑥ 设备排气与设施排气共用；

⑦ 培训不足；

事故对策：

案例 2 钢瓶柜内氯化氢（HCl）气体泄漏

事故概要：

在CVD设备中产生了HCL（氯化氢）流量，经确认气瓶柜发现二次压力显示为 -0.01MPa，同时听到气瓶柜内部发出“嘶嘶”声，发现HCL气体正在飞散和附着。虽然按下了紧急切断，但因钢瓶开瓶器脱落，钢瓶阀门未能完全关闭。此外，当时气体检测器也未能正常报警。

事故原因：

① 气体泄漏发生在高压侧截止阀与减压阀之间的 UJR 盖形螺母，调查发现 UJR 套筒存在微小损伤。

② 由于钢瓶开瓶器在钢瓶阀门安装位置的高度上没有留有足够余量，导致切断阀门启动时钢瓶开瓶器中途脱落。

③ 检测器未启动是因为氯化氢气体附着在了从排气管道到传感器的PTFE管内的污物上，氯化氢泄漏无法被检测到。

事故对策：

FAB 特种气体气瓶柜泄漏的危害涉及生命安全、生产安全、环境安全以及经济发展等多个层面，其严重性不容小觑。半导体制造企业必须高度重视气瓶柜的安全管理，加强日常巡检与维护，配备先进的泄漏检测与报警设备，制定完善的应急预案，并对员工进行严格的安全培训，确保在面对气瓶柜泄漏等突发情况时，能够迅速、有效地进行应对，最大程度降低事故危害。毕竟，安全是企业发展的基石，只有保障了安全，企业才能实现可持续发展。

气瓶柜的安全管理，本质上是对 “敬畏生命、重视细节” 理念的践行。唯有将每一个螺丝、每一段软管、每一次检查都做到位，才能从根源上遏制事故，让实验室、工业车间真正成为安全的生产科研空间。